Der zur Ausgleichszahlung Verpflichtete hat insbesondere bei entsprechend langer Verfahrensdauer oder überhaupt dann, wenn er nach den Umständen des Falles mit der Festsetzung einer Ausgleichszahlung rechnen muss, im Laufe des Verfahrens in zumutbarer Weise Vorsorge zu treffen, dass er diese schließlich fristgerecht leisten kann.